Los MEMS contienen unas estructuras muy finas de silicio que se desplazan una fracción de milésima de mm, en función del movimiento de la carcasa, provocando una alteración de sus propiedades eléctricas que pueden medirse y convertirse en datos.

Los sensores MEMS miden la presión, la aceleración, los movimientos de rotación, de flujo de masa o el campo magnético terrestre, por lo que se han convertido en órganos sensoriales de los automóviles y de los smartphones.